無塵室的原理是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備來過濾車間空氣中的塵埃粒子，控制空氣溫濕度、相鄰車間壓差，使車間中單位空氣中直徑分別在0.1um、0.2um、0.3um、0.5um、1um、0.1um的塵粒數(shù)量符合相應(yīng)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，其具體的空氣凈化流程如下：

無塵室空氣凈化過程

氣流 → 初效空氣處置 → 空氣調(diào)理 → 中效空氣處置 → 風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng) → 凈化送風(fēng)管道 → 高效送風(fēng)口 → 潔凈室 → 帶走塵埃（細(xì)菌） → 回風(fēng)夾道 → 新風(fēng)、初效空氣處置。

當(dāng)熱，無塵室內(nèi)控制潔凈度不是簡單的事，而是一個綜合性的控制，體現(xiàn)在如下參數(shù)：

換氣次數(shù)、壓差、溫度、相對濕度、噪聲、新風(fēng)補(bǔ)充量、照度等，不同級別的無塵室，相應(yīng)參數(shù)會有不同，具體參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可參見：凈化車間等級評定。

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